美國BARDEN專用半導體軸承

在如今，以半導體制造業為代表的先進行業的生產加工環境十分復雜，涉及多種因素，一是真空，許多半導體部件的加工都在真空環境中進行，這就對其中運行的軸承提出了前所未有考驗，二是清潔，真空環境生產的目的就是為了清潔，所以軸承傳統的潤滑方式就不再適合，三是腐蝕，半導體制造產生的雜質中，多有酸性特征，其腐蝕性對相關環節軸承亦有較高的要求。但在半導體制造業中，軸承又是不可或缺的，因此這里使用的軸承就需要耐真空，更清潔，更耐用，以及更耐腐蝕。NTN開發了多種半導體制造業軸承專用材質，以及多種在超高真空環境、清潔環境及腐蝕環境中使用的潤滑劑，滿足了人們對半導體制造業中使用的軸承的期望。

這些材質和潤滑主要包括馬氏體不銹鋼、MoS2磷酸鹽涂層、特殊PTFE涂層、耐腐蝕涂層、陶瓷涂層等等，主要潤滑脂包括低顆粒潤滑脂、通用固體潤滑脂、食品級、高溫、抗放射性潤滑脂、導電潤滑脂（EP-2）、導電氟潤滑脂（EF-2）等等，正是這些新材料，支撐起了半導體制造業用軸承。

這些軸承按使用環境可分為三類，一是航空航天設備，真空設備用的通用真空環境用軸承，二是半導體制造設備，LCD面板制造設備用的清潔環境用軸承，三是金屬板蝕刻設備，顯影劑，清洗設備用的腐蝕環境用軸承，也有三種類型兼備的軸承，這些軸承為半導體工業的發展，提供了重要的支持。

BARDEN, 120-HEDUL(1/2 BARDEN, 120-HEDUM(1/2 BARDEN, 120-HEUH BARDEN, 120-HEUL BARDEN, 120-HEUM BARDEN, 121H BARDEN, 121HDB BARDEN, 121-HDB(1/2 BARDEN, 121HDF BARDEN, 121-HDL BARDEN, 121-HDM BARDEN, 121HDT BARDEN, 122H BARDEN, 122-H BARDEN, 122-HD BARDEN, 122HDB BARDEN, 122HDF BARDEN, 122-HDH BARDEN, 122-HDL BARDEN, 122-HDM BARDEN, 122HDT BARDEN, 122-HETXTDUM(1/2 BARDEN, 122-HETXTUM BARDEN, 124H BARDEN, 124-HCDB(1/2 BARDEN, 124-HCDU(1/2 BARDEN, 124-HCDUL(1/2 BARDEN, 124-HCDUM(1/2 BARDEN, 124-HCU BARDEN, 124-HCUL BARDEN, 124-HCUM BARDEN, 124-HD BARDEN, 124HDB BARDEN, 015-T3DB50 BARDEN, 1/2X27 BARDEN, 100-BEDTL BARDEN, 100-BX9 BARDEN, 100-FF3 BARDEN, 100-FFX19K2CX0 BARDEN, 100-FX204DB10 BARDEN, 100H BARDEN, 100-H BARDEN, 100-HC BARDEN, 100-HCDUH(1/2 BARDEN, 100-HCDUL(1/2 BARDEN, 100-HCDUM(1/2 BARDEN, 100-HCUH BARDEN, 100-HCUL BARDEN, 100-HCUM BARDEN, 100HDB BARDEN, 100HDF BARDEN, 100-HDH BARDEN, 100-HDL BARDEN, 100-HDM BARDEN, 100HDT BARDEN, 100-HEDUL(1/2 BARDEN, 100-HJ6 BARDEN, 100-HJ6RC40 BARDEN, 100-K3 BARDEN, 100-S BARDEN, 100-SS3 BARDEN, 100-SSTX1 BARDEN, 100-SSTX1K6 BARDEN, 100-TA3 BARDEN, 100-YY BARDEN, 101-BEDTL BARDEN, 101-BX48 BARDEN, 101-BX48D20 BARDEN, 101-BX8 BARDEN, 101-FF BARDEN, 101-FFTX1K3 BARDEN, 101H BARDEN, 101-H BARDEN, 101-HC BARDEN, 101-HCDUL(1/2 BARDEN, 101-HCDUM(1/2 BARDEN, 101-HCU BARDEN, 101-HCUL BARDEN, 101-HCUM BARDEN, 101-HD BARDEN, 101HDB BARDEN, 101-HDB BARDEN, 101-HDBL BARDEN, 101HDF BARDEN, 101-HDF BARDEN, 101-HDL BARDEN, 101-HDM BARDEN, 101HDT BARDEN, 101-HEDUL(1/2 BARDEN, 101-HEUL BARDEN, 101-HJ6 BARDEN, 101-HJ6C BARDEN, 101-HJ6DTC BARDEN, 101-HTMT BARDEN, 101-HTMTDL BARDEN, 101-HX37K6 BARDEN, 101-SS3 BARDEN, 101-SSTX1K2C44 BARDEN,